Çin Yerli DUV Litografi Makinesi Üretimine Başladı

Çin’in çip üretiminde kullanılan immersion DUV litografi makinelerini yerli imkânlarla üretmeye başladığı bildirildi. Henüz ASML seviyesine ulaşamayan sistemler, ülkenin Batılı teknolojilere bağımlılığını azaltması açısından önemli bir adım olarak görülüyor.

Çin’in, yarı iletken üretiminin en kritik ekipmanlarından immersion DUV litografi makinelerini yerli olarak üretmeye başladığı bildirildi. Haber sonrasında Hollandalı litografi devi ASML’nin hisseleri yaklaşık yüzde 8 değer kaybetti.

Reuters’a göre çalışmaları, Şanghay merkezli ve devlet destekli Aishengna Electronic Technology Group yürütüyor. Şirketin 2026’da yaklaşık beş, 2027’de ise 20 makine üretmesi planlanıyor. İlk sistemlerin SMIC, Hua Hong Semiconductor ve bellek üreticisi CXMT’ye teslim edilmesi bekleniyor.

Makinelerin teknik özellikleri henüz açıklanmadı ve seri üretim hatlarındaki performansları bağımsız olarak doğrulanmış değil.

DUV litografi makinesi nedir?

Litografi makineleri, bilgisayarda tasarlanan devrelerin mikroskobik desenlerini silisyum plakalar üzerine basıyor. Çalışma mantığı, son derece hassas bir projektöre benzetilebilir.

Devre deseni, “reticle” adı verilen özel bir cam maske üzerine işleniyor. Makine, lazer ışığını bu maskeden geçirerek görüntüyü mercekler yardımıyla küçültüyor ve ışığa duyarlı kimyasalla kaplanmış silisyum plaka üzerine yansıtıyor. Çipin farklı katmanları için bu işlem onlarca kez tekrarlanıyor.

DUV, “Deep Ultraviolet”, yani “Derin Morötesi” ifadesinin kısaltması. Gelişmiş sistemler 193 nanometre dalga boyunda ışık kullanıyor.

Çin’in ürettiği bildirilen immersion DUV sistemlerinde mercek ile silisyum plaka arasına son derece saf su yerleştiriliyor. Suyun ışığı kırma özelliği sayesinde daha küçük ve net devre desenleri basılabiliyor.

Eski ama hâlâ kritik bir teknoloji

DUV, günümüzün en ileri litografi teknolojisi olan EUV’den daha eski. Ancak kullanım dışı kalmış değil. EUV ile üretilen modern işlemcilerin bile birçok katmanında hâlâ DUV makineleri kullanılıyor.

Immersion DUV ile 28 nanometre sınıfındaki desenler tek pozlamada basılabiliyor. Aynı katmanın birkaç kez işlendiği “multiple patterning” yöntemiyle 7 nanometre sınıfına kadar inmek mümkün. Ancak bu yöntem üretimi daha pahalı, yavaş ve hataya açık hale getiriyor.

Çin neden kendi makinesini geliştiriyor?

Dünyanın en gelişmiş litografi sistemleri Hollanda merkezli ASML tarafından üretiliyor. Şirket aynı zamanda ileri teknoloji EUV makinelerini ticari ölçekte üretebilen tek kuruluş.

İhracat kısıtlamaları nedeniyle ASML’nin EUV makineleri Çin’e satılamıyor. Bazı gelişmiş DUV modelleri ile bunların servis ve yedek parçaları da kısıtlamaların kapsamına alındı. Çin bu nedenle kendi yarı iletken üretim ekipmanlarını geliştirmeye çalışıyor.

Reuters’a göre yeni makinelerde kullanılan parçaların büyük bölümü Çin’de üretiliyor, ancak bazı kritik bileşenler hâlâ Japon tedarikçilerden sağlanıyor.

Çin ASML’yi yakaladı mı?

Şimdilik hayır. Bir litografi makinesini çalışır durumda üretmek ile onu yüksek hacimli çip üretiminde güvenilir biçimde kullanmak arasında büyük fark bulunuyor.

Makinenin yalnızca küçük desenler basması yeterli değil. Günde binlerce silisyum plaka işlemesi, farklı katmanları nanometre hassasiyetinde hizalaması ve uzun süre düşük hata oranıyla çalışması gerekiyor.

Çin’in 2026’da yaklaşık beş makine üretmesi beklenirken ASML aynı dönemde yaklaşık 130 immersion DUV sistemi teslim etmeyi planlıyor. Çin makinelerinin hızı, hassasiyeti ve güvenilirliği ise henüz bilinmiyor.

Bu nedenle gelişme ASML’nin kısa vadede liderliğini kaybettiği anlamına gelmiyor. Ancak Çin’in kendi litografi ekosistemini kurmaya başlaması, ASML’nin uzun vadede önemli bir pazarını kaybedebileceği endişesini artırıyor. Şirketin hisselerindeki sert düşüşün temelinde de bu risk bulunuyor.

Kaynaklar: Reuters, Reuters Breakingviews, ASML